|
本儀器是以光切法測量另件加工表面的微觀不平�。其能判斷別國家標準GB 1031-68所�(guī)定▽3-�9級表面光潔度�
對于表面劃痕、刻線或某些缺陷的深度也可用來進行測量�
光切法特點是在不破壞表面的狀況下進行�。是一種間接測量方�。即要經(jīng)過計算后才能確定紋痕的不平度�
|
測量范圍不平度平均高度� |
�0.8�1.6微米 |
>1.6�6.3微米 |
>6.3�20微米 |
>20�80微米 |
|
表面光潔度級� |
9 |
8�7 |
6�5 |
4�3 |
|
所需物鏡 |
60�N.A.0.55 |
30�N.A.0.40 |
14�N.A.0.20 |
7�N.A.0.12 |
|
總放大倍數(shù) |
510× |
260× |
120× |
60× |
|
物鏡組件工作距離 |
0.04mm |
0.2mm |
2.5mm |
9.5mm |
|
視場 |
0.3mm |
0.6mm |
1.3mm |
2.5mm |
|
攝影裝置放大倍數(shù) |
�6× |
|
測量不平度范� |
�0.8�80)微� |
|
不平度寬� |
用測微目� |
0.7微米�2.5mm |
|
|
用座標工作臺 |
�0.01�13�mm |
|
儀器重� |
�23kg |
|
外形尺寸 |
�180×290×470mm |
|